洁净度级别 |
浮游菌cfu/m3 |
沉降菌(ø90mm) Cfu/4小时 |
表面微生物 |
|
接触(ø55mm) Cfu/碟 |
5指手套 Cfu/手套 |
|||
A级 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
B级 |
10 |
5 |
5 |
5 |
C级 |
100 |
50 |
25 |
? |
D级 |
200 |
100 |
50 |
? |
洁净度级别 |
悬浮粒子最大允许数/立方米 |
|||
静态 |
动态 |
|||
≥0.5μm |
≥5.0μm |
≥0.5μm |
≥5.0μm |
|
A级 |
3520 |
20 |
3520 |
20 |
B级 |
3520 |
29 |
352000 |
2900 |
C级 |
352000 |
2900 |
3520000 |
29000 |
D级 |
3520000 |
29000 |
不作规定 |
不作规定 |