洁净度级别 |
尘粒最大允许数:个/m3(静态) |
微生物最大允许数cfu (静态) |
||
≥0.5μm |
≥5μm |
沉降菌/90皿0.5h |
浮游菌 (m3) |
|
10 000级 100 000级 300 000级 |
350 000 3 500 000 10 500 000 |
2 000 20 000 60 000 |
1.5 3 5 |
50 150 200 |
面积 (m2) |
洁净度级别 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
<10 |
2 |
2 |
2 |
≥10~<20 |
2 |
2 |
2 |
≥20~<40 |
2 |
2 |
2 |
≥40~<100 |
4 |
2 |
2 |
≥100~<200 |
10 |
3 |
3 |
注:对于10000级以上的非单向流洁净室(区),面积指的是房间面积。 |
最小采样量 L/次 |
洁净度级别 |
||
10000 |
100000 |
300000 |
|
≥0.5μm |
2.83 |
2.83 |
2.83 |
≥5μm |
8.5 |
8.5 |
8.5 |
4.2.5.7.测试数据的处理及结果判断使用GL1-01D型尘埃粒子计数器检测完毕将自动打印出0.5mm和5μm的95%置信度
UCL值,并作出净化等级的判断。
洁净车间检查频次表
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沉降菌 |
尘埃粒子数 |
||||
万级 |
十万级 |
三十万级 |
万级 |
十万级 |
三十万级 |
|
测定频次 |
1次/月 |
1次/季 |
1次/半年 |
1次/月 |
1次/季 |
1次/半年 |
测定地点 |
洁净室内 |
洁净室内 |
||||
监测工具 |
直径9cm的营养琼脂培养皿 |
尘埃粒子计数器 |