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洁净车间之纯化水管道的相关知识

发布日期:2020-10-02 09:16 浏览次数:

纯化水管道在整个洁净车间运行当中有着非常重要的作用,下面由小编来为大家讲解下洁净车间之纯化水管道的相关知识:
一、洁净车间管道:管道材料宜选用无毒工程塑料或不锈钢。电子厂净化车间送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。电子厂净化车间净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
不锈钢(不锈耐酸钢)材料的特点是:
1.钝化后呈化学惰性;
2.易于消毒;
3.工作温度范围广。电子厂净化车间净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
二、洁净车间管道的连接和试压接头:
洁净车间不锈钢(不锈耐酸钢)管道应采用热熔式氩弧焊焊接,内壁要光滑,应检查焊接质量,记录焊接的数量,并做X光拍片。由于管道在技术夹层难以拍片、采取先拍片的形式,一般采用自动氩弧热熔式焊机,根据设备手册先确定焊接控制参数,如电流大小,频率(frequency)等。
三、洁净车间管道的清洗、钝化(Inactivation)、消毒、不锈钢管道的处理(清洗、钝化、消毒)可大致分为纯化水循环(continue)预冲洗→碱液循环清洗→纯化水清洗→钝化→纯化水再次冲洗→排放→纯蒸汽消毒等几个步骤(procedure)。
1.洁净车间纯化水循环(continue)预冲洗:
准备一个贮液罐和一台水泵,与需要钝化(Inactivation)的管道连成一个循环通路,在贮液罐中注入足够的常温纯化水,用水泵加以循环,15min后打开排水阀,边循环边排放,能装一只流量(单位:立方米每秒)计;
2.碱液清洗:
准备氢(Hydrogen)氧(Oxygen)化钠化学纯试剂,加入热水(温度(temperature)不低于70℃)配制成1%(体积(volume)浓度)的碱液,用泵进行循环(continue),时间不少于30min,然后排放;
3.冲洗:
将纯化水加入贮罐,启动水泵,打开排水阀排放,直到各出口点水的电阻率与罐中水的电阻率相一致,排放时间至少30min;
4.纯化:
(a)用纯化水及化学纯的硝酸配制成8%的酸液,在49-50℃温度(temperature)下循环(continue)60min后排放;
(b)或用3%氢(Hydrogen)氟酸、20%氨氮水(Nitric acid)、77%纯化水配制溶液,溶液温度(temperature)在25-35℃,循环处理10-20min然后排放;
5.初始冲洗:用常温纯化水冲洗,时间不少于5min;
6.冲洗:再次冲洗,直到进、出口纯化水的电阻率一致;
7.纯蒸汽消毒:
将洁净车间蒸汽通入整个不锈钢的管道系统,每个使用点至少冲洗15min。上述清洗、钝化、消毒过程及其参数应加以记录。

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